近年來X熒光光譜儀在各個行業(yè)領域中不斷拓展，已經為廣泛應用于治金、地質、環(huán)保、建材等領域中。
X熒光光譜儀優(yōu)點
a) 分析速度高。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
b) X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態(tài)無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態(tài)也基本上沒有關系。(氣體密封在容器內也可分析)但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定 。
c) 非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復多次測量，結果重現(xiàn)性好。
d) X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。
e) 分析精密度高。
f) 制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。
X熒光光譜儀缺點
a)難于作分析，故定量分析需要標樣。
b)對輕元素的靈敏度要低一些。
c)容易受相互元素干擾和疊加峰影響。
X熒光光譜儀 -主要用途：
1.熒光激發(fā)光譜和熒光發(fā)射光譜
2.同步熒光(波長和能量)掃描光譜
3.3D(Ex Em Intensity)
4.Time Base和CWA(固定波長單點測量)
5.熒光壽命測量，包括壽命分辨及時間分辨
6.計算機采集光譜數(shù)據(jù)和處理數(shù)據(jù)(Datamax和Gram32)
X熒光光譜儀性能
性能無疑是評估光譜儀非常重要的指針性能優(yōu)異的光譜儀做篩選檢測能準確無誤地排查合格和不合格，并將不確定的灰色部分壓縮到zui小;
有的光譜儀鉛砷不分、鎘的特征譜線與X光管銠電極的特征譜線重迭等。經常誤判;
有的光譜儀檢測鎘的靈敏度不夠高，不能準確判定鎘;
大部分光譜儀的檢測穩(wěn)定性受到X光管老化、環(huán)境溫度、電源波動等影響，使數(shù)值不準。
由于性能不足，可能發(fā)生錯判、誤判、無法判定等事件頻發(fā)，不確定的灰色部分比例大增。其后果必然是成本顯著提高、風險增加。
